超純水制備中，TOC(總有機碳)的講解至關重要，采用UV-185nm低壓高能紫外技術，并結合UV-254nm紫外線殺菌器，能夠通過高劑量的UV-185nm紫外光催化，在水中產生羥基自由基，對水中的有機物進行氧化降解，以降低水中的TOC含量。